25-nm-Transistorgates mit optischer Lithografie

Numerical Technologies ist es gelungen, ausschließlich mit optischer Lithografie die weltweit ersten 25-nm-Transistorgates zu produzieren. Die 25-nm-Transistorgates auf dem IC entstanden mittels der patentierten Phasenverschiebungstechnologie von Numerical Technologies auf einem optischen 248-nm-DUV-Lithografiesystem (DUV – Deep Ultra-Violet).
Damit wurden erstmals mit einer 248-nm-Lithografieeinrichtung 25-nm-Transistorgates produziert. Dieses Ergebnis demonstriert das Potenzial bestehender optischer Lithografiesysteme zur Fertigung von Strukturen, die wesentlich kleiner sind, als es ursprünglich für solche Anlagen eigentlich vorgesehen war.

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