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SOI

Abkürzung für: Silicon-on-Insulator
Definition: Fertigungstechnologie für Siliziumsubstrate mit einer eingebetteten Siliziumoxid-Isolationsschicht und auch Bezeichnung für die Substrate selbst (SOI-Substrat). Die Isolationsschicht unterbindet Leckströme und reduziert damit die Leistungsaufnahme von Bauelementen; anfänglich wurden SOI-Substrate für Raumfahrtsysteme entwickelt, um die Effekte ionisierender Strahlung auf elektronische Baugruppen zu beschränken. Im Vergleich zum herkömmlichen Si-Substrat sind SOI-Wafer deutlich teurer.
Kategorien: Fertigung,Materialien
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