Analytik von Nanoschichten

Forscher des Bereichs “Elektroaktive Stoffe” an der TU Graz entwickelten im Zuge einer Kooperation mit austriamicrosystems eine neue Methode für die Analytik von dünnen Siliziumoxid-Schichten in Halbleiterbauelementen im Nanometerbereich. Für die mikroskopische Charakterisierung wurde bisher vor allem die Hochauflösungselektronenmikroskopie eingesetzt, die aber in der Praxis Schwierigkeiten bereitet, da der Kontrast in den Bildern oft unzureichend ist. Als alternative Analysenmethode kann die Elektronenenergieverlustspektrometrie herangezogen werden, denn die hochenergetischen Elektronen erleiden bei der Wechselwirkung mit der Probe charakteristische Energieverluste. Dies kann für die Detektion der dünnen Schichten eingesetzt werden.
Grazer Forscher (www.felmi-zfe.at) schlugen nun erstmals vor, sogenannte “Niederenergie”-Verlustelektronen zu verwenden. Die Schichten können so entgegen den Vorhersagen anderer Forscher mit hoher Ortsauflösung, wesentlich verkürzter Messzeit und mit exzellenter Qualität abgebildet werden. Damit nützen die Grazer aus, dass nur ein geringer Teil der Elektronen die Bildinformation verschmiert, was in der Praxis kaum stört. Für diese Arbeiten wird das leistungsstärkste Elektronenmikroskop Österreichs, das an der TU Graz installiert ist, eingesetzt und liefert heute schon Aussagen über Grenzflächenphänomene von Nanostrukturen, die bald auch bei LEDs und verschleißhemmenden Schichten gewonnen werden.

austriamicrosystems
Tel. (03136) 500-5679
gerald.meinhardt@austriamicrosystems.com
http://www.austriamicrosystems.com