Der Geschäftsbereich Solar von Leybold Optics stellt mit Phoebus ein lineares Cluster-System, basierend auf einem vertikalen, carrierlosen Ansatz, vor, das ein kostengünstiges Abscheiden von Lichtabsorbern aus amorphem und mikrokristallinem Silizium mittels plasmagestützter Gasphasenabscheidung (PECVD) ermöglicht.

Bei einfachen amorphen Silizium-Dünnschichtzellen (a-Si) durchläuft jedes Glassubstrat drei Prozessschritte in unterschiedlichen Beschichtungskammern. Tandemzellen (a-si/?c-Si) durchwandern hingegen sechs Prozessschritte. Dabei werden die Glassubstrate während des gesamten Prozesses in den Beschichtungskammern und auf dem Transportroboter auf einem gleichbleibenden, ausgewogenen Temperaturniveau gehalten.

Die Robotereinheit bewegt sich in einem ständig unter Vakuum gehaltenen Tunnel, an den die parallel angeordneten Beschichtungskammern angeschlossen sind. Phoebus besitzt eine integrierte Selbstreinigung. Durch das Plasmaätzen mit einem fluorhaltigen Gas werden lange Stillstandzeiten und hohe Wartungskosten vermieden. Eine hochentwickelte Betriebssoftware ermöglicht es zudem, einzelne Prozesskammern aus dem Produktionszyklus auszukoppeln, während der restliche Prozess weiterläuft.