Das berührungslose Testsystem von Süss Microtec erfasst die ausgestrahlten elektrischen Felder von schaltungsinternen Submikrometer-großen Strukturen, ohne den zu prüfenden Schaltkreis elektrisch zu belasten. Die Signalerfassung liefert sowohl Takt- als auch Spannungsdaten und beruht nicht auf der Detektion von optischen Emissionen.


Die integrale Rasterkraftsonde und ein hochstabiler Prober, beispielsweise der SUSS PM8, ermöglichen eine hochgenaue Positionierung der Sondennadel auf Strukturen <1 µm und deren elektrische Charakterisierung. Nachdem die Sondennadel über dem Messbereich positioniert wurde, wird sie durch komplexe elektrische Impulse angeregt.


Dabei werden die zwischen der Nadel und dem Schaltkreis kapazitiv generierten Kräfte gemessen, aus denen die Software anschließend die Spannungswellenform des Signals extrahiert. Bei dem gesamten Vorgang wird der Schaltkreis nicht kontaktiert. Das Signal kann in der freien Luft oder durch gedünntes Oxid oder Silizium erfasst werden und Frequenzen bis in den Gigahertz-Bereich haben.