Durchfluss-Sensoren der dritten Generation zur digitalen Messung von Flussraten in mikrofluidischen Systemen sind vom Schweizer Unternehmen Sensirion erhältlich. Die OEM-Komponenten auf MEMS-Basis sind für den Serieneinsatz in Diagnostik, Medizintechnik und Biotechnologie vorgesehen und erlauben die Detektion von Medien sowie die genaue Messung von sehr niedrigen Flussraten bis hinunter zu Nanolitern pro Minute mit Ansprechzeiten im Millisekundenbereich. Das Messverfahren arbeitet vollständig mediengetrennt: Der Sensorchip misst von außen durch die Wand von PEEK- oder Fused-Silka-Kapillaren hindurch, wodurch das Medium nur mit der Wandung dieser internen Kapillare in Kontakt kommt. Das größte Model ist für Flussraten bis zu 3 ml/min ausgelegt.


 


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