Bosch hält mit MEMS eine führende Position im Weltmarkt mikromechanischer Sensoren. Weit weniger bekannt ist, dass auch „Fabless Companies“ seit 2001 auf die in zwei Jahrzehnten perfektionierte MEMS-Fertigungstechnik des Stuttgarter Konzerns zugreifen. Dessen langjährige Erfahrung ist ein festes Fundament für hohe Qualität – und gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb im Automobil genauso wie in der Unterhaltungselektronik. MEMS-Startups steht der Zugriff auf den Foundry-Service ebenfalls offen, wenn, etwa nach einer erfolgreich verlaufenen Bemusterung, die Prozessanpassung für eine Massenproduktion im industriellen Maßstab erforderlich ist. Sorgen wegen der Preisgabe von Know-how sind unbegründet: Verantwortungsvoller Umgang mit sensiblen Projektdaten ist für Bosch Alltag, anders wäre das Unternehmen nicht weltgrößter Zulieferer für nahezu alle Automobilhersteller weltweit geworden.


Den Kern seines MEMS-Foundry-Services sieht Bosch in der kompetenten Fortführung einer vom Kunden eingeleiteten Prozessentwicklung, im kurzen Ramp-up (Hochlauf) und in der termingerechten Produktion. Wer diese Kompetenz nutzt, bekommt seine MEMS-Bauteile üblicherweise auf 150- oder 200-Millimeter-Wafern zur Weiterverarbeitung angeliefert. Auf Wunsch leistet Bosch aber auch mehr und wirkt bereits im Vorfeld bei der Prozessentwicklung mit. Auch nach der Produktion der Wafer kann Bosch mit seinem Know-how unterstützen – etwa beim Testen der fertig gestellten Wafer, bei der Integration einer CMOS-Auswerteelektronik auf dem MEMS-Chip oder bei der abschließenden Wafer-Zerteilung in Chips und deren Verpackung in Gehäuse.

Seit Produktionsbeginn 1995 hat Bosch weit mehr als eine Milliarde MEMS-Bauelemente im Werk Reutlingen hergestellt. Die Position des Weltmarktführers bestätigt auch eine Analyse des Marktbeobachters iSuppli vom März 2009: Bosch erwirtschaftet mit MEMS-Sensoren für die Automobilbranche gegenwärtig mehr Umsatz als seine beiden schärfsten Konkurrenten in diesem Markt zusammen. Für die anhaltend innovative Weiterentwicklung der MEMS-Produktionstechnologie hat Bosch bedeutende Auszeichnungen erhalten, zuletzt den „Deutschen Zukunftspreis 2008“