Einen für verschiedene Beschleunigungsbereiche von 1 bis 500 g adaptierbaren Hochleistungssensor stellt der österreichische Halbleiterhersteller austriamicrosystems AG auf der electronica 2002 vor. Der Sensor zeichnet sich unter anderem durch eine extrem hohe Genauigkeit bei der Messung der abgeschirmten Kapazität (Balken und Gegenelektrode) direkt am Chip aus. Sie basiert auf einem patentierten integrierten Schaltkreis, der Kapazitätsänderungen bis unter 0.5-atto-Farad/sqrt Hz ermöglicht.


Zu den weiteren Besonderheiten des AS8310 zählt die quasi-monolithische Konstruktion, die aus einem einfachen mikromechanischen Sensorelement in der Form eines Balken und einem Schaltkreis zur Signalaufbereitung besteht. Die beiden Teile werden auf Waferebene durch eutektisches Waferbonden direkt miteinander verbunden. Dadurch entsteht ein dicht abgeschlossenes System, das verschiedene Verpackungsoptionen ermöglicht.


Durch den geschlossenen Regelkreis des Systems lassen sich eine hohe Linearität und eine große Bandbreite erzielen, wobei die Stabilität des Regelkreises durch das unkritische Modalverhalten des Balkens und die überkritische Gasdämpfung im Luftspalt gewährleistet ist. Die Bandbreite des Ausgangssignals wird durch Filterung außerhalb des Regelkreises begrenzt. (typisch: 100 Hz für niedrige und 1 kHz für hohe Beschleunigungswerte).


Der hochempfindliche Beschleunigungssensor ist besonders für den Einsatz in automotiven Applikationen wie Front- und Seitenairbag, ESP bzw. Fahrwerkstabilisierung oder aktiven Fahrwerksaufhängungen geeignet. Typische Sensor-Kenndaten für einen +/- 7 g z-Achsensensor mit einer Empfindlichkeit von 250 mV/g sind ein Spitze-Spitze-Rauschen bei 140 Hz Bandbreite von < 0.01g, ein Temperaturkoeffizient des Null-g Signals < 2 mg/K, eine Null-g Stabilität über die Lebensdauer von < 0.15g und eine Linearität <1%. Ein umfangreiches integriertes Selbsttest-Konzept lässt sich zudem unter anderem für eine genaue Beurteilung von Alterungseffekten nutzen. Die Antwortfunktion des Selbsttests wird individuellen Kundenwünschen angepasst.


Standardmäßig wird das Sensorsystem im kostengünstigen SOIC 16-Gehäuse angeboten, alternativ stehen ab 2003 aber auch spezielle Verpackungslösungen für 2- und 3-dimensionale Beschleunigungssensorsysteme mit orthogonaler Ausrichtung von zwei oder drei Sensorelementen zur Verfügung.