Insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bietet die μsprint-Technologie die ideale Kombination aus Auflösung und Geschwindigkeit.

Insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bietet die μsprint-Technologie die ideale Kombination aus Auflösung und Geschwindigkeit.Nanofocus

In der industriellen Produktion geht weltweit der Trend zu verknüpften Prozessketten unter dem Stichwort Industrie 4.0. Gleichzeitig wird eine immer höhere Produktqualität gefordert. Damit gewinnt eine benutzerunabhängige und automatisierbare Messtechnik in der qualitätssichernden Prozessführung an Bedeutung. Neben klassischen 3D-Mikroskopsystemen bietet Nanofocus inline-fähige Oberflächenmessgeräte mit vielseitigen Automationsmöglichkeiten, die sich flexibel in produktionsbezogene Regelkreise einbinden lassen. Insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bietet die μsprint-Technologie die ideale Kombination aus Auflösung und Geschwindigkeit. Durch die hohe Auflösung können Strukturhöhen bis zu einigen Mikrometern wiederholgenau erfasst werden. Die μsprint-Technologie ist auf nahezu allen Oberflächen einsetzbar. Die große Dynamik des Sensors stellt die zuverlässige Detektion von Strukturen, Substratgeometrien und Defekten, dank der Erkennung selbst kleinster Unterschiede im Reflektionsverhalten, sicher.

Mittels der Automatisierungssoftware μsoft automation ist es möglich, komplexe Messstrategien und Auswertungen kundenspezifisch zu konfigurieren. Die Messdaten werden direkt in vordefinierte Ergebnisprotokolle überführt oder über zahlreiche Datenschnittstellen (zum Beispiel SECS-GEM Interface) exportiert. Damit stehen sie für Soll-/Ist-Vergleiche zur Verfügung oder können für weitere Auswertungen an qs-STAT, Matlab, verschiedene Datenbanken oder SPC-Charts übergeben werden. Bei Serienmessungen entfällt der Anwendereingriff durch zahlreiche Leistungsmerkmale wie Passmarkenerkennung, automatisiertes Alignment und Messbereichsnachführung vollständig. Die Unterstützung von Wafer-Map-Importen oder OCR-/DDM-/Barcode-Reading erfüllt gängige Industriestandards zur Produktidentifikation. Für eine optimierte Dokumentation werden Messdaten und Auswertungen dauerhaft in einer datenbankbasierten Auswertebibliothek der Nanofocus-Software gespeichert und können damit zur statistischen Prozesskontrolle genutzt werden.

NanoFocus hat automatisierte Messanlagen bei namhaften Herstellern in verschiedenen Branchen erfolgreich in Betrieb genommen. Dazu zählen die vollautomatische Wafer-Inspektion in der Halbleiterfertigung, die Serienkontrolle künstlicher Kniegelenke und Zahnimplantate in der Medizintechnik und die Messung von Mikro-Schweißnähten und kritischen Oberflächen an Automobilteilen.