Die Ionisatoren der Serien ER-V, ER-VW, ER-TF und EC-G stellen ein komplettes Lieferprogramm an Ionisatoren in diversen Bauformen dar. Sie erzeugen einen Luftstrom mit positiv und negativ geladenen Ionen. Sprüht man diesen Luftstrom über die statisch aufgeladene Oberfläche, rekombiniert die ionisierte Luft mit den Ladungen der Oberfläche und neutralisiert diese. Dadurch werden weitere fehlerfreie Prozessschritte auf der Oberfläche (etwa eines Wafers) gewährleistet.