Kleinste Düse der Welt putzt Mikrochips

An der Uni Kassel wurde die weltweit kleinste Düse entwickelt. Sie misst ca. 100 Nm und kann z. B. winzigste Unreinheiten oder Fehler auf Mikrochips entfernen.
Durch den Düsentrichter der Nanodüse können ganz gezielt Radikale, also besonders reaktionsfreudige Atome oder Moleküle, geschickt werden, um damit etwa Mikrochip-Oberflächen zu behandeln. Einsetzbar ist das Nanowerkzeug unter anderem für Siliziumoberflächen, kohlenstoffhältige Polymerstrukturen oder DNA-Strukturen. Das Mikrosystem mit der Nanodüse wird durch zwei weitere Komponenten, einen Sensor und einen Chip ergänzt und kann damit gleichzeitig selektieren, analysieren und behandeln – dabei ist das Dreikomponenten-Mikrosystem kaum ein Zehntel eines kleinen Fingernagels groß.