10099.jpg

Aerotech: Ausgestattet mit leistungsfähigen Linearantrieben an beiden Achsen zeichnet sich das Luftlagersystem PlanarHD durch eine Positionierungsfläche von 500 x 500 mm aus und erreicht eine Scan-Geschwindigkeit von 2 m/sec sowie eine Spitzenbeschleunigung von 5 g. Außerdem verfügt das H-Brücken-Design über zwei Luftlagerungen und zwei Linearencoder an der Schrittachse. Die Positionierungsauflösung beträgt 0,25 Nm , die Wiederholbarkeit 50 Nm und die Genauigkeit +/- 300 Nm.. Damit erfüllt das System alle Anforderungen für die Herstellung von Highend-Komponenten für Positioniersysteme. Ein Luftlagertisch für Verfahrwege von bis zu 500 mm ist zudem eine zukunftssichere Investition im Hinblick auf die Herstellung von 450-mm-Wafern.