Die kapazitiven Silizium-Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration.

Die kapazitiven Silizium-Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration. First Sensor

Je nach Bandbreite erreichen die kapazitiven Silizium-Inertialsensoren von First Sensor Auflösungen von 10 µg beziehungsweise 0,0005 ° (2 Bogensekunden) und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.

Die unbeschichteten, einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten nach Angaben von First Sensor geringe Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine gute Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts. Dadurch erreichen die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° eine Rauschdichte von kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.