Den neuen einachsigen kapazitiven MEMS-Beschleunigungssensor GS1 hat Panasonic Electric Works als Zwei-Chip-Lösung realisiert und in einem 6,2 x 8,5 x 1,6 mm3 großen keramischen SMD-Gehäuse integriert. Dabei wandelt ein spezielles ASIC das vom MEMS-Sensor kommende kapazitive Messsignal in ein Spannungs-Ausgangssignal um, wobei das MEMS-Sensorelement aus einer festen und einer beweglichen Elektrode mit zwei ineinander greifenden Kammstrukturen (bzw. Interdigitalstrukturen) arbeitet.

Als Ausgangssignal steht eine der Beschleunigung (Messbereich: ±2 g) proportionale elektrische Spannung (2,5 ±2 V) zur Verfügung. Bedingt durch die Materialeigenschaft ist die Temperaturabhängigkeit (±0,05 V/g) dieses für den Betriebstemperaturbereich von -40 bis +85 °C ausgelegten kapazitiven Beschleunigungssensors im Vergleich zu piezoresistiven Beschleunigungssensoren deutlich geringer, so dass die Empfindlichkeit 1 V/g und die Genauigkeit ±5% F.S. des Ausgangssignals betragen.

Da die bewegliche Elektrode nicht nur aufgrund einer bewegungsbasierten Beschleunigung sich bewegt, sondern auch infolge der statischen Gravitationsbeschleunigung der Erde ihre Lage ändert, wird diese Eigenschaft genutzt, um Neigung zu messen bzw. zu detektieren.

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