Durch eine optionale Schnittstelle mit einer 16-Bit AD-Karte können mit wenigen Handgriffen beliebige (eigene) Sensoren angeschlossen werden – entsprechend der zu messenden Oberfläche.


Die Features: Das Gerät arbeitet sowohl als optisches Profilometer, wie auch als Bild gebendes Topographiemessgerät. Der Messbereich in der Höhe ist erhältlich von 500 µm bis zu 25 mm. Dabei arbeitet das Gerät in allen drei Achsen metrologisch. Die Software ermöglicht automatische Messabläufe, auch bei komplexen Anforderungen.


Die Optimierung: Der MicroGlider erfuhr eine weitere Optimierung: Für Anwendungen in der 300 mm-Technologie wurde der MicroGlider mit 350 mm x 350 mm Messbereich ausgestattet.