Methode zur Strukturierung von Festkörperoberflächen

An der Abteilung für Angewandte Physik am Institut für Experimentalphysik der Uni Linz wurde eine neue Methode entwickelt, die es ermöglicht, für die Herstellung von Mikrochips und mikromechanischen Bauelementen Oberflächen zu bearbeiten und Strukturen zu erzeugen. In der Mikrostrukturtechnik spielt die Laserlithographie eine zentrale Rolle, ist jedoch sehr aufwändig. Den Linzer Physikern ist es nun gelungen Oberflächen im Mikro- und Nanobereich zu strukturieren. In einer Lösung schwimmen Mikrokügelchen aus Quarz. Bringt man die Lösung auf einen transparenten Träger auf, verdampft das Wasser und die Kügelchen ordnen sich von selbst zu einer hexagonalen Struktur an. Diese sind wie Seifenblasen auf einer Wasseroberfläche vorstellbar. Den Effekt machten sich die Wissenschafter am Institut für Experimentalphysik zunutze. Sie verwenden diese Kügelchen wie Linsen: Wird ein Laserstrahl darauf geschossen, können auf einmal bis zu Milliarden von Strukturen gleichzeitig auf einer Oberfläche erzeugt werden. Die so über die Linsenbrechung produzierten Lichtpunkte sind derart intensiv, dass sie zur direkten Nanostrukturierung verwendet werden können.

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