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NanoFocus

Drei Produktlinien werden angeboten: µsurf für die hochauflösende 3D-Konfokalmikroskope, µscan als 3D-Scanning-Profilometer und µsprint für extrem schnelle und inlinefähige 3D-Konfokalsensoren.

Kennzeichen der konfokalen Messtechnik sind eine hohe Genauigkeit, die schnelle Messgeschwindigkeit und ein Maximum an Wiederholgenauigkeit. Darüber hinaus werden die Messproben bei dem berührungslosen Verfahren nicht zerstört.

Die mehrkanaligen Sensoren der µsprint-Serie, sehr schnelle Konfokalsensoren, erzielen auf glänzenden wie auch stark absorbierenden und rauen Oberflächen in Halbleiter-, Elektronik-, und Solarindustrie präzise Messergebnisse.

Die µsprint-Technologie verfügt über großes Potenzial mit den zu erwartenden Strukturverkleinerungen im Bereich von BGAs und CSPs.

Die µsurf-Technologie wurde in diesem Jahr mit dem Intersolar Award prämiert. Eine Auszeichnung erhielt das µsurf Solar 2.0 für seine Schnelligkeit, Zuverlässigkeit und hohe Präzision, die eine optimale Qualitäts- und Prozesskontrolle in der Forschung und Produktion von Solarzellen ermöglichen. Von der Analyse strukturierter Oberflächen bis hin zur exakten Vermessung von Isolationskanälen und der DIN EN ISO-konformen Bestimmung der Rauheit sind zahlreiche Messaufgaben realisierbar.

Die µscan-Profilometer sind die automatisierbare Kompaktlösung für schnelles und exaktes Erfassen von 3D-Oberflächenstrukturen durch Scannen mit optischen Sensoren. Mit µscan lässt sich die Geometrie von Mikrobauteilen in verschiedenen Stationen des Fertigungsprozesses vermessen. Die Messsysteme ermöglichen unter anderem die Analyse von Schichtdicken auf Substraten. Ebenso können Form, Welligkeit, Rauheit nach DIN EN ISO an feinbearbeiteten Metallteilen, Kunststoffen und Halbleitermaterialien analysiert werden.