Die hochtechnologische Produktionsstätte in Göttingen ist innerhalb von Excelitas das Kompetenzzentrum im Bereich der Halbleitertechnologie, schließlich verfügt Tochter Qioptiq über mehr als 25 Jahre Erfahrung bei der Entwicklung, Prototypenbau und in der Serienfertigung von Hochleistungsoptiken, Systemen und Modulen für die Lithografie und Waferinspektion. Um das steigende Auftragsvolumen in gewohntem Standard umsetzen zu können und die geforderten Lieferzeiten einzuhalten, hat Excelitas die Reinraumfertigung am Qioptiq-Standort in Göttingen Anfang 2015 kurzfristig erneut um eine Anlage der ISO Klasse 6 mit einer Fläche von 175 m² erweitert. Bereits Ende des Jahres 2012 war an diesem Standort ein neuer Reinraum in Betrieb genommen worden. Aktuell hat Qioptiq in Göttingen eine Reinraumfläche von 430 m² zur Montage komplexer optischer Systeme zur Verfügung. Zurzeit arbeiten rund 240 Beschäftigte in Göttingen. Weltweit beschäftigen Excelitas und Qioptiq zusammen etwa 5.500 Mitarbeiter.
Inbetriebnahme nach nur zwei Monaten
Mit der Realisierung der technisch anspruchsvollen Reinraumanlage beauftragte das Göttinger Unternehmen bereits zum wiederholten Male Schilling Engineering. Eine besondere Herausforderung stellte dabei die kurze Planungs- und Aufbauzeit dar: Der neue Reinraum wurde innerhalb von nur zwei Monaten realisiert und Ende März 2015 in Betrieb genommen. Somit war es möglich, bereits Ende Mai 2015 termingerecht ein erstes Optikmodul an den Kunden auszuliefern. Dabei fiel die Wahl auf ein Reinraumsystem der Serie Cleancell, die Sebastian Illert, Leiter Operations Qioptiq Göttingen, so begründet: „Mit unserer neuen Anlage bieten wir ein äußerst hohes Niveau in der Präzisionsfertigung von optomechanischen Systemen und Modulen. Die Zusammenarbeit mit den erfahrenen Technikern unseres Reinraumpartners Schilling Engineering war auch bei diesem Projekt unkompliziert und hat uns ein ausgezeichnetes Ergebnis gebracht.“
Die Herstellung und Montage der optomechanischen Komponenten für integrierte Halbleiter fordert eine nahezu partikelfreie Umgebung und eine stabile Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Da die hochempfindlichen Bauteile schon durch kleinste Verunreinigungen in ihrer Funktion beeinträchtigt werden, findet der Produktionsablauf ausnahmslos unter kontrollierten Reinraumbedingungen statt. Das Reinraumsystem Cleancell mit einer Gesamtfläche von 175 m² stellt eine Reinraumluftqualität der Reinraumklasse ISO 6 sicher. Die Anlage besteht aus drei Reinräumen, die mit gegenseitig verriegelbaren elektrischen Schiebetüren miteinander verbunden sind. In dem größten Raum findet auf einer Fläche von 85 m² die Montage der hochempfindlichen optomechanischen Komponenten statt, weitere Räume dienen der Prüfung und Verpackung und sind für spezielle Lasermessungen eingerichtet. Das Personal und die Bauteile werden über separate Personen- und Materialschleusen in den Reinraum eingeschleust. Da einige Bauteile ein großes Volumen aufweisen und auch die speziellen temperatur- und feuchtigkeitsstabilen Verpackungsmaterialien viel Platz einnehmen, wurde die Materialschleuse mit 12 m² konzipiert und mit breiten Rolltoren ausgestattet. Die speziellen Reinraumtore weisen eine hohe Dichtigkeit auf und halten durch das besonders schnelle Öffnen und Schließen den Luftaustausch und Druckabfall gering.
Präzise Reinraumspülung
Das Reinraumsystem ist mit Hochleistungsfiltern der ULPA-Klasse U15 ausgestattet. Gerichtete Luftströmungen entfernen kleinste Schwebeteilchen aus der Arbeitsumgebung. Eine effiziente Umluft- und Rückluftführung innerhalb der Reinraumwände sorgt für eine präzise Reinraumspülung und hat eine hohe Energieeffizienz, da die bereits gefilterte und gekühlte Luft wieder in den Kreislauf des Luftaustauschs geführt wird. Wand- und Deckenmodule des Reinraums sind mit einem silikonfreien Dicht-Clip-System verbunden. Dies soll eine äußerst hohe Dichtheit der Reinräume sicherstellen, genauso wie eine geringe Partikelabgabe, und bietet den Vorteil von flexiblen Erweiterungs- oder Rückbaumöglichkeiten des modular aufgebauten Systems.
Erneut in Auftrag gegeben wurde auch der Einsatz des Reinraum-Kontrollsystems CR Control, das sich am Göttinger Standort bereits in den vorhandenen Anlagen bewährt hatte. Über zwei interaktive Monitore des Kontrollsystems werden Verbindungen zu den angeschlossenen Fühlern, die Druck, Feuchte und Temperatur messen, zu Filtermodulen, Klimaschränken, Tür- und Lichtfunktionen und weiteren Komponenten hergestellt. Alle wichtigen Funktionen werden überwacht und lassen sich einzeln ansteuern und regulieren.
(mrc)
