PFOA ist ein biologisch schwer abbaubarer Schadstoff. Der Stoff wird zur Herstellung von PTFE- und Teflonmaterialien verwendet, die in Equipment zur Halbleiterherstellung zum Einsatz kommen.

PFOA ist ein biologisch schwer abbaubarer Schadstoff. Der Stoff wird zur Herstellung von PTFE- und Teflonmaterialien verwendet, die in Equipment zur Halbleiterherstellung zum Einsatz kommen. Manuel Almagro Rivas – Own work; CC BY-SA 4.0

Einen ähnlichen Regulierungsvorschlag für den Einsatz von PFOA sieht seit September 2016 auch die Stockholmer Konvention der Vereinten Nationen vor. In der Halbleiterherstellung wäre Equipment zur Wafer- und Substratprozessierung sowie die Fotolithographie von der Regulierung betroffen. Wird der Regulierungsvorschlag durchgesetzt, kommen die Vorschriften bereits ab 2020 zum Tragen.

PFOA ist ein persistenter organischer Schadstoff, der nur schwer biologisch abbaubar ist und sich im Ökosystem über die Nahrungskette akkumuliert. Die Substanz kommt bei der Herstellung von fluoropolymerhaltigen Werkstoffen wie PTFE oder Teflon zum Einsatz. Diese Werkstoffe sind in großem Umfang für Chemikalienbehälter, Verrohrungen, Dichtungen, Kanalisierungen, bei der Filtration und in Beschichtungen von Halbleiterequipment in Verwendung.

Die Restriktionen dehnen sich auch auf Zersetzungsprodukte von PFOA aus und betreffen damit tausende organische Substanzen. Wird PFOA in irgendeiner Form bei der Herstellung verwendet ist es sehr wahrscheinlich, dass sich Rückstände des Materials im fertigen Produkt befinden.

PFOA-Beschränkung greift in Europa ab 2022

Der Branchenverband der Halbleiterindustrie Semi hat als Reaktion auf den Regulierungsvorschlag eine zehnjährige Frist gefordert, die der Equipmentindustrie die Verwendung von PFOA in der Herstellung ermöglicht, bis alternative Materialien zur Verfügung stehen und getestet wurden.

Ende 2016 erfolgte die Abstimmung und Ratifizierung der neuen gesetzlichen Vorschriften für den europäischen Markt. Equipmentherstellern für die Halbleiterindustrie wurde eine fünfjährige Frist bis zur Umsetzung der Bestimmungen gewährt. Damit darf ab Anfang 2022 kein Equipment mit einem PFOA-Gehalt höher als 25 ppb in europäische Halbleiterfabs eingebracht werden. Gleiches gilt für Maintenance-Equipment, Ersatzteile und gebrauchte Geräte, wenn diese nicht vor 2022 auf den Markt gebracht wurden.

Umsetzung der Regulierung wird teuer für Equipmenthersteller

Es existieren durchaus alternative Stoffe zur Herstellung fluoropolymerhaltiger Materilien. Equipmentzulieferer müssen zunächst untersuchen, welche Komponenten, Behälter, Zuleitungen und Einzelteile bis hin zur beschichteten Schraube PFOA-haltig sind oder Informationen dazu über die gesamte Zulieferkette einholen. Dieser Prozess ist mit nicht zu vernachlässigenden Kosten verbunden. Wird PFOA nachgewiesen, müssen betroffene Teile einem Re-Design mit alternativen Materialien unterzogen und erneut für die Halbleiterproduktion qualifiziert werden. Die Umsetzung beider Maßnahmen dauert wahrscheinlich mehrere Jahre. Deshalb ist die von der ECHA vorgesehene Fünf-Jahres-Frist nur schwer einhaltbar, besonders wenn es sich um gebrauchtes Equipment handelt.

Nahezu alle Länder der Welt sind am Dialog zur Beschränkung von PFOA durch die Stockholmer Konvention beteiligt. Jedoch wären die Einschränkungen vorerst nur für die Europäische Union, Argentinen, Australien, Brasilien, Kanada, Chile, China, Indien, Indonesien, Japan, Mexiko, die Philippinen, Südkorea, Russland, Singapur, Thailand und Vietnam rechtlich bindend. Für die USA, Malaysia und Israel sind die Vorschriften derzeit nicht verbindlich. Die finale Abstimmung über die Regulierungsvorschrift soll laut Semi im Jahr 2019 erfolgen, genug Zeit für den Branchenverband, wie bereits angekündigt eine Revision vorzubereiten.