Mit der vollen Inbetriebnahme ihrer dritten Fabrik zur Herstellung von Calciumfluorid-Einkristallen Anfang September in Jena hat die Schott Lithotec AG ihre Fertigungskapazität für synthetisches Calciumfluorid nahezu verdoppelt. Dem Material kommt eine Schlüsselfunktion in der Produktion der nächsten Generationen von Halbleiterchips zu.


Die Schott Lithotec AG, Jena, Hersteller von optischen Materialien und Komponenten für die Mikrolithographie, konnte sich Dank ihrer Spitzenposition bei Calciumfluorid in der Halbleiter-Rezession bisher behaupten. Die Nachfrage ist weiter hoch, da die Abnehmer von Kapazitäts- auf Technologiekäufe umgeschwenkt sind.


Im laufenden Geschäftsjahr (30.9.) erwartet die hundertprozentige Tochtergesellschaft des Mainzer Technologiekonzerns Schott einen Umsatz von ca. 80 Mio. DM, nach 40 Mio. DM im Vorjahr. 


Das 1998 gegründete Unternehmen ist weltweit der erste Lieferant, der das gesamte Spektrum an optischen Materialien und Komponenten für heutige und künftige Anwendungen in der Mikrolithographie anbietet. Dazu zählen neben Calciumfluorid hochhomogenes optisches Glas, synthetisches Quarzglas, Komponenten für Excimer Laser, feinstpolierte Substrate und Mask Blanks für Photomasken sowie gewichtsreduzierte Strukturteile aus „Zerodur“ Glaskeramik für Wafer- und Maskenhalterungen.


Mit zwei Entwicklungsprojekten ist Schott Lithotec in enger Kooperation mit dem Forschungszentrum des Schott-Konzerns bereits an der Vorbereitung der Extreme Ultra Violett Lithographie (EUVL) beteiligt, die etwa ab 2006 einen Technologiewechsel in der Herstellung von Halbleiterchips einleiten soll.