Die 19-Zoll-Hochspannungs-SMU AXV7607 von VX Instruments misst 3 HE und ist 15 kg schwer.

Die 19-Zoll-Hochspannungs-SMU AXV7607 von VX Instruments misst 3 HE und ist 15 kg schwer.VX Instruments

VX Instruments hat seine Hochspannungsquelle AXV7607 vor allem für schnelle Halbleiter- und Kabel-Tests entwickelt. Das 19-Zoll-Gerät mit 3 HE kann als Spannungs- oder als Stromquelle dienen. Es liefert Spannungen von -1500 bis +2500 V. Der Ausgangsstrom liegt im Puls-Modus bei ±30 mA und im kontinuierlichen Betrieb bei ±8 mA. Der programmierbare bipolare MOSFET-Verstärker liefert Anstiegsraten von 10 bis 1000 V/ms, womit sich auch der Testdurchsatz gegenüber langsameren HV-Lösungen erhöhen lässt.

Der AXV7607 stellt fünf Strombereiche zur Verfügung, die bis in den Nanoampere-Bereich reichen. Zusammen mit der integrierten Spannungsmessung (VMU, Voltage Measurement Unit) lassen sich alle Arten von Hochspannungs-Halbleiter-Tests durchführen. Der ebenfalls integrierte Schutzverstärker (Guard Amplifier) kann den Kabelschirm treiben und damit die Leckströme in der DUT-Verkablung senken: Er liefert eine Spannung mit dem gleichen Potenzial wie die Plus-Ausgänge.

Die sehr schnelle Strommesseinheit (CMU, Current Measurement Unit) ist mit sieben Messbereichen ausgestattet und erfasst Werte bis in den Pikoamperebereich. Mit parallelen Trigger-Signalen können die VMU und die CMU synchrone Messungen durchführen. Da es ein großes Sicherheitsproblem darstellen würde, hohe Ausgangsspannungen mit externen Geräte zu überwachen, besitzt das AXV7607 auch einen schnellen Spannungswächter, der eine herunterdividierte Ausgangsspannung für sicheres Monitoring bereitstellt. Strom-Monitoring bis in den Pikoamperebereich ist mit externem Equipment ebenfalls eine Herausforderung, daher enthält der AXV7607 einen internen Stromwächter.

Die Relais-Matrix verbindet alle Hochspannungssignale (Force, Sense, Guard) mit den Ausgängen. Zusätzliche Relais und schaltbare Widerstände ermöglichen Selbsttests und Kontaktprüfungen. Alle Hochspannungssignale und die Monitoring-Ausgänge sind gegen Kurzschlüsse geschützt.