Technologiepartnerschaft beschleunigt Halbleitertests

Keithley Instruments hat eine Technologiepartnerschaft mit Anritsu bekannt gegeben, die eine gegenseitige technische und vertriebliche Unterstützung für Produkte im Bereich des parametrischen Halbleitertests umfasst.
Das erste Produkt von Keithley, das aus dieser Partnerschaft hervorgeht, ist das Testsystem Modell S400DC/RF. Es bietet die parallele Ausführung parametrischer HF- und DC-Messungen zur Prozessüberwachung auf Waferebene bei Kommunikationsbauteilen und anderen schnellen digitalen Bauteilen. Vektornetzwerk-Analyzer (VNA) von Anritsu wurden wegen ihrer Genauigkeit, sowie wegen der Möglichkeit zur selbstständigen Kalibrierung und der Fähigkeit sehr schnelle Messungen ausführen zu können, ausgewählt.
Durch die neue Partnerschaft konnte ein parametrisches Testsystem entwickelt werden, das laut Keithley Instruments gegenüber konventionellen Lösungen aus Einzelgeräten, die getrennte DC- und HF-Messungen ausführen, eine bis zu zehnfache Erhöhung des Durchsatzes und eine Reduktion der Testkosten um bis zu 70 Prozent erreicht.
Die parametrischen Testsysteme wurden speziell für Halbleiterfabs entwickelt, um die Zuverlässigkeit der Produkte und Prozesse durch die Messung kritischer Bauteilparameter während der Entwicklung, Charakterisierung und Produktion sicherzustellen. Die mit diesen Systemen gewonnenen DC- und HF-Parameter werden für die Bauteilmodellierung, Prozessüberwachung und für allgemeine Analysen von komplexen Signalen bis 40 GHz genutzt.

Keithley Instruments
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