Zur Reduzierung der Betriebskosten hat Leybold Vacuum ein automatisches Monitoring und Fernanalyse in seine Ultrahochvakuum-Systeme integriert. Dabei sind die externen Eingangs-, Ausgangs- sowie Analogmodule über ein Profibuskoppelmodul mit einem Lichtwellenleitersystem miteinander verbunden. Über ein eingebautes Modem kann eine Fernwartung des Systems oder ein Software Update durchgeführt werden. Die Visualisierung sowie die Bedienung erfolgt über ein 12,1“-Touch Panel. Alle Betriebszustände der Pumpen, Ventile und Sensoren werden angezeigt, ebenso wie Temperaturwerte und Vakuumdrücke. Störungen werden in einem Fehlerprotokoll festgehalten.


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