Vertikaler Ätzer im Technologiezentrum Zhuhai (China).

Vertikaler Ätzer im Technologiezentrum Zhuhai (China).Schmid

Das Entwicklungsteam in Zhuhai (China) hat neue Wege beschritten und mit Hochdruck an der Fertigstellung einer vertikalen DES-Linie (Developing/Etching/Stripping) gearbeitet, die alle Anforderungen des Marktes erfüllt und die Lösungen der Mitbewerber deutlich übertreffen soll. Neben einer kompletten DES-Linie bietet Schmid auch vertikale Einzelmaschinen für Entwickeln, Ätzen und Strippen an; ebenso für Flash-Etch-Prozesse, Lötstopplack-Entwicklung und Vorreinigung.

Sei es der vollautomatische, schonende Inline-Transport oder das wartungsfreundliche Design und der geringe Platzbedarf verglichen mit horizontalen Prozessanlagen, vertikale Anlagen weisen deutliche Vorteile gegenüber vergleichbaren Systemen auf. Zudem ermöglicht die Anlage die beidseitige chemische Bearbeitung der Substrate, die zu völlig identischen Bedingungen erfolgt. Dies zahlt sich vor allem beim Ätzen aus: Durch die Verwendung einer speziellen Chemie, die nur im Moment des Auftreffens auf das Substrat wirksam ist, lässt sich ein absolut homogenes Prozessergebnis erzielen, das gänzlich den Puddling-Effekt verhindert, der aus horizontalen Anlagen bekannt ist. Bis heute muss dort mithilfe aufwändiger intermittierender Sprühtechniken versucht werden, den Effekt auszugleichen.

Ein weiterer Vorteil der vertikalen Anlage ist der berührungslose Klemmrahmentransport, der die ultrafeinen Strukturen während des Ätzens schützt. Die feinen Linien könnten in horizontalen Prozessanlagen mit Standardtransportsystemen durch leicht oszillierenden Transport oder den Kontakt mit Rollen beschädigt oder abgelöst werden. Deshalb bietet Schmid für seine horizontalen Anlagen bereits Klemmrahmentransporte an. Berührungsloses Handling ohne menschliches Eingreifen zahlt sich in erheblich höherem Ertrag aus. Das Unternehmen bietet verschiedene Klemmrahmensysteme sowohl für vertikale als auch für horizontale Anlagen in vielen Größen an, da die Materiallänge in Laufrichtung sehr flexibel gestaltet werden kann und nur in der Breite begrenzt ist.

Umweltschutz am Standort Zhuhai

Neben Anlagen für die Leiterproduktion fertigt der chinesische Standort Schmid Zhuhai auch Maschinen für die Flachbildschirmherstellung und für die Photovoltaikindustrie. Nun hat der Standort die Zertifizierung für sein Umweltmanagementsystem nach ISO14001:2004 erhalten. Das Umweltmanagementsystem wird in der Produktion von Nassprozessanlagen in den genannten Industriezweigen verwendet.

Mit der Planung, Ausführung und Kontrolle der Maßnahmen will der Hersteller sicherstellen, dass der Wasser- und Energieverbrauch sowie die Abfälle in einem kontinuierlichen Verbesserungsprozess minimiert werden. Alle verwertbaren Abfälle, die hauptsächlich aus Kunststoffen und Metallen bestehen, werden dem Wertstoffkreislauf zugeführt. Schmid setzt sich über die Anforderungen der Umweltnorm hinaus erfolgreich dafür ein, die Verbrauchsdaten der produzierten Nassprozessanlagen zu senken, beispielsweise durch die Wiederverwendung von Spülwasser, dem Einsatz effizienter Pumpen zur Reduzierung des Stromverbrauchs oder durch den Einbau exakter Dosiersysteme für minimalen Chemikalienverbrauch.