Camtek (Vertrieb: Quasys) hat das AOI-System Falcon 200 für die Waferinspektion eingeführt. Damit kann leicht und in Rekordzeit ein neues Inspektionsrezept eingelernt werden. Die bedienerfreundliche Software erlaubt eine enge Abgrenzung zwischen echten Defekten und noch tolerierbaren Abweichungen, was die Ausbeute der Wafer erhöht. Neu ist die Möglichkeit, automatisch 2D- und 3D-Inspektion in einem System und sehr kostengünstig durchzuführen. Anwendungen wie Bump-Inspektion oder Inspektion komplexer MEMS sind damit erstmals auf einem System problemlos durchführbar.

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