Von SensorDynamics sind jetzt zwei- und dreiachsigen Drehratensensorelemente erhältlich. Es ist gelungen, das 2D und 3D MEMS-Sensorelement so zu konstruieren, dass die Drehrate um 2 bzw. 3 Achsen gleichzeitig mit nur einem einzigen oszillierenden Masseelement gemessen und in unabhängige Ausgangssignale umgesetzt werden kann.

Die patentierten Sensorelemente werden im MEMS–Prozess PSM-X2 gefertigt, der seit Januar 2010 auf 8“- Wafern läuft. Eine automobiltaugliche, nach AEC-Q100 qualifizierte Variante für den Temperaturbereich von -40 bis +125°C wird zu einem späteren Zeitpunkt auf den Markt kommen. Unter Nutzung der patentierten Zweikammer-(Dual-Cavity)-Technologie wird der neue 3D-Drehratensensor im nächsten Schritt mit einem 3D-Bescheunigungssensor integriert.

Damit ist eine komplette inertiale Messeinheit mit 6 Freiheitsgraden (6DoF-IMU) auf nur wenigen Quadratmillimetern Chipfläche realisiert. Ein entsprechendes Produkt für den Konsumerbereich wird spätestens in einem Jahr verfügbar sein.

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