Sputtern

Abkürzung für: Oberflächenbeschichtungsverfahren per Kathodenzerstäubung
Definition: Die Sputterdeposition, kurz Sputtern (aus dem Englischen "to sputter" = zerstäuben), auch Kathodenzerstäubung genannt, dient der Präparation hochreiner Oberflächen. Bei diesem physikalischer Vorgang werden Atome aus einem Festkörper durch Beschuss mit energiereichen Ionen herausgelöst und gehen in die Gasphase übergehen. Eine Sputter-Variante ist das PVD-Verfahren (physikalische Dampfphasenabscheidung), ein vakuumbasiertes Beschichtungsverfahren beziehungsweise eine Dünnschichttechnologie. Hier dient es zum Zerstäuben eines Materials, das sich anschließend auf einem Substrat niederschlägt und eine feste Schicht bildet. Beispielsweise werden die Schaltkontakte von Reed-Relais mit Ruthenium gesputtert.
Kategorie: Bauelemente
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