Das Massenflussmeter SFM3000 führt nur zu einem sehr geringen Druckabfall.

Das Massenflussmeter SFM3000 führt nur zu einem sehr geringen Druckabfall.Sensirion

Der Schweizer Sensorhersteller Sensirion lanciert den neuen digitalen Massenflussmeter SFM3000 für hoch-voluminöse Anwendungen in medizinischen Geräten. Durch das Design des Strömungskanals weißt der SFM3000 einen sehr geringen Druckabfall von weniger als 3 mBar auf. Der Massenflussmeter misst Flussraten von Luft und anderen nicht aggressiven Gasen bi-direktional bis 200 slm mit hoher Genauigkeit und sehr schneller Durchlaufzeit. Er gibt bei einer Frequenz von 2 kHz ein digitales, intern linearisiertes und temperaturkompensiertes 14-Bit-Signal wieder. Der vollständig kalibrierte und temperaturkompensiert Baustein hat einen digitalen I2C-Ausgang. Zudem agiert der Massenflussmesser mit einer 5-VDC-Versorgungsspannung, die den direkten Anschluss an einen Mikroprozessor einfach und schnell ermöglicht.

Die Performance des Gasflusssensors SFM3000 basiert auf der von Sensirion patentierten CMOSens-Technologie, welche Sensorelement, Signalverarbeitung und digitale Kalibrierung auf einem einzigen CMOS-Siliziumchip kombiniert. Die Flussrate des Gases wird mit einem thermischen Sensorelement gemessen, das im Vergleich zu anderen marktkonformen Messprinzipien einen erweiterten dynamischen Messbereich und eine verbesserte Langzeitstabilität garantiert. Dank der bewährten Technologie eignet sich der neue Massenflussmeter für eine hoch qualitative Massenproduktion, etwa bei anspruchsvollen und kostensensitiven OEM-Anwendungen in der medizinischen Beatmung und Anästhesie, sowie in der Prozessautomation und Brennsteuerung.

Die hauseigene CMOSens-Technologie ermöglicht es, Sensorelement direkt mit analoger und digitaler Auswertelektronik auf einem winzigen CMOS-Siliziumchip zu verschmelzen. Die Implementierung erfolgt dabei auf Grundlage moderner Halbleitertechnologie. Der daraus entstehende Sensorchip ermöglicht eine präzise und zuverlässige Erfassung der gewünschten physikalischen Parameter. Die Verschmelzung von Sensor und Auswertelektronik stellt sicher, dass die empfindlichen analogen Sensorsignale vor Ort störungsresistent und hochpräzise verstärkt und digitalisiert werden können. Weil es keine störanfälligen Lötstellen gibt, profitieren die Anwender zudem von einer hohen Langzeitstabilität.