Despatch hat eine Zweiwege-Konfiguration seines Ultraflex-Brennofens vorgestellt, der dieselben Funktionen wie der Einwegebrennofen bietet, jedoch eine höhere Verarbeitungskapazität von 2 400 bis 4 000 Wafern/h erbringt. Der Ofen verfügt über die Microzone- Technologie von Despatch, die die Gestaltung eigener, von der Bandgeschwindigkeit unabhängiger Befeuerungsprofile ermöglicht. Die Microzonen sind derart konfiguriert, dass sie eine scharfe Abgrenzung von Zone zu Zone und somit eine präzise Steuerung ermöglichen, so dass man auch ständig wechselndem Kleber und Zellarchitekturen bearbeiten kann. Der Trockenbereich mit 4 m bringt auch bei hohen Bandgeschwindigkeiten beste Ergebnisse. Ein zum Patent angemeldeter thermischer Abluftreiniger für flüchtige organische Verbindungen (VOC) ist direkt in den Trockner integriert und bietet eine praktisch wartungsfreie Entfernung von VOCs direkt am Ort ihrer Entstehung.p>
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