Automatisch optisch inspizieren

Rood Microtec, Zwolle, Niederlande, ist Anbieter von Halbleiterbauelementen und begleitenden hochwertigen Dienstleistungen. Das Unternehmen hat ein neues automatisches optisches Inspektionssystem für Halbleiter im Testbereich seiner deutschen Vertretung in Nördlingen installiert. Mit dem Inspektionssystem STI iFocus 505 wird somit ab dem ersten Quartal 2019 das Leistungsportfolio um eine Vielzahl neuer Möglichkeiten erweitert.

Die Anforderungen der Industrie entwickeln sich schnell hin zur vollständigen Automatisierung der Prozesse. Mit dieser neuen Leistung verfügt Rood Microtec nach eigenen Angaben über eine Lösung, die den Bedürfnissen der Kunden, insbesondere im Automobilsektor, entspricht. Martin Sallenhag, CEO von Rood Microtec, sagt: „Der Zweck dieser Dienstleistung ist es, Ausfälle und Schäden an eingehenden Wafern zu erkennen und die Qualitat an ausgehenden Wafern zu sichern. So können wir mögliche Fehler aus vorangehenden Prozessschritten wie Waferherstellung und Transport identifizieren und unseren Kunden Produkte in bestmöglicher Qualität liefern. Darüber hinaus werden wir uns durch die Inbetriebnahme dieses Systems innerhalb unserer bestehenden Produktionslandschaft als starker, zuverlässiger und qualitätsbewusster Partner für all unsere Kunden aus der Halbleiterindustrie auszeichnen können.“

Vollautomatisch von Kassette zu Kassette

Das AOI‐System ist in der Lage, 6‐, 8‐ und 12‐Zoll‐Wafer vollautomatisch von Kassette zu Kassette zu verarbeiten. Es bietet auch die Möglichkeit, gesägte Wafer oder Waferteilstücke, die auf einem Filmrahmen montiert sind, zu handhaben und zu prüfen. Die beiden Hauptkomponenten des Systems sind die Handlingeinheit und die optische Einheit. Die Handlingeinheit besteht aus einem Roboter, der die Wafer bearbeitet und von der Kassette zur Visioneinheit führt. Die Visioneinheit wird durch die bewegliche Aufnahmehalterung auf hochpräzisen Linearmotoren und dem direkt darüber liegenden leistungsstarken optischen System gebildet. Diese Visioneinheit ist auf einem Granitblock montiert, und liegt auf vier Luftdämpfern, die die nötige Stabilität sicherstellen und Vibrationen kompensieren sollen. Der Durchsatz des Systems hängt von der verwendeten Vergrößerung ab. Hauptsächlich wird 5X verwendet, aber die Maschine ist auch für 2,5X, 3,5X, 7,5X und 10X geeignet. Die Vergrößerung bestimmt die Größe der Fehler, die erkannt werden können. Bei 10X können beispielsweise Fehler der Größe 1,6μm x 1,6μm gefunden werden.

(hw)