XYZ-Positioniersystem

Das XYZ-Positioniersystem erlaubt die Hochgeschwindigkeitspositionierung entlang zweier linearer Achsen und sorgt für einen erhöhten Throughput. (Bild: Steinmeyer Mechatronic)

Wafer dienen als Grundplatte für elektronische Bauelemente, beispielsweise Mikrochips, und haben damit eine Schlüsselfunktionen in der Halbleiterindustrie inne. Entsprechend hoch sind die Anforderungen in der Herstellung. Der Qualitätskontrolle kommt daher eine besondere Bedeutung zu.

Verringerung der Zykluszeit

Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm erlaubt die gleichzeitige Überprüfung mehrerer 300-mm-Wafer oder einzelner bis 700 x 700 mm großer Substrate mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000 mm/s. Eisenlose Direktantriebe machen dieses hohe Tempo möglich. Dank der Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm lassen sich präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen erzielen. Die Z-Achse wurde für Sensoren und Kamerasysteme bis 5 kg konzipiert. Die Vertikalverstellung kann dabei wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Auch die Prüflingsauflage ist applikationsspezifisch anpassbar, zur Wahl stehen geschliffene Platte, Platte mit Bohrraster und Chuck.

Einfache Integration

Bei dem XYZ-System handelt es sich um eine Komplettlösung inklusive Stahlgestell und Luftdämpfern, wobei letztere zusammen mit der massiven, schweren Grundplatte aus Granit eine sehr gute Entkopplung gegenüber Bodenvibrationen ermöglichen – ideal für Messungen mit µm- und sub-µm Auflösung. Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten sind vorhanden. Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie angepasster Verkabelung und Vakuumführung entsprechend der eingesetzten Sensorik und Waferaufnahme geliefert und lässt sich dank Portalaufbau einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Eine Ausführung für höchste Reinraumansprüche bis ISO1 mit interner Absaugung und Partikelfallen ist optional verfügbar.

Wartungsarmer 24/7-Betrieb

Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen, der sich schnell und unkompliziert in die vorhandenen Steuerungsumgebungen einbinden lässt. DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration sind erhältlich, ebenso Beckhoff oder ACS. Ein flexibles Wartungskonzept sorgt darüber hinaus für minimalen Aufwand bei der Instandhaltung. So können beispielsweise die Bewegungsachsen dank vorjustiertem Interface stillstandsfrei ausgewechselt werden.

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