Prozessanlagen Aethon, Equinox

Quelle: Coherent

Coherent stellt mit Aethon und Equinox zwei Prozessanlagen für die Solarzellenherstellung mit kristallinem Silizium (c-Si) vor. Die Applikationen beinhalten die Kantenisolation, die dielektrische Ablation bei der Herstellung der Photo-Masken (Diffusion und Metallisierung), die laserunterstützte Bildung der so genannten Punktemitter inklusive der Diffusion des Dotiermaterials, des Emitter-Wrap-Throughs oder des Metal-Wrap-Throughs sowie die Etch-Barrier-Ablation im nasschemischen Strukturierungsprozess von Oberflächen mehrerer c-Si-Wafer. Die Aethon-Plattform umfasst eine aktuelle Hochgeschwindigkeits-Strahl-Scanning-Optik sowie eine softwaregesteuerte Wafer Positionierungs-Hardware und ein Fehlerdiagnoseprogramm. Das Equinox-Tool wurde speziell für den Hochdurchsatzbetrieb entwickelt. Der Equinox-Pilot wird mit einem Wafer Be- und Entlade-Drehtisch bestückt und ist besonders geeignet für die Fertigungsvorqualifizierung von Laser basierenden Prozessen vor der Implementierung in die komplette Produktionslinie. Der Equinox-Fab wurde für die Produktion mit hohem Durchsatz von bis zu mehreren tausend Wafern pro Stunde optimiert. Je nach Anforderung kann er entweder mit einem Multi-Wafer Drehtisch für simultanes Bearbeiten ausgestattet werden oder er wird mit einem horizontalen Förderband bestückt.

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