Im Reflowprozess führen die hohen Temperaturen unweigerlich zu einer Verunreinigung des Prozessgases, beispielsweise durch Pasten oder Leiterplattenmaterial. Das Prozessgasreinigungskonzept ist mehrstufig aufgebaut und sorgt damit effektiv für eine saubere Prozesszone, verspricht Seho. Kernstück ist ein kompaktes Filtersystem mit unterschiedlichen Feinheitsgraden. Das verunreinigte Prozessgas wird aktiv aus den Heizzonen abgesaugt und durch das gekühlte Filtersystem geführt, wo Rückstände kontrolliert an Abscheidern und verschiedenen Metallgeflecht-Filtern entfernt werden. Anschließend wird das gereinigte Prozessgas dem Prozess wieder zugeführt.
Da Verunreinigungen physikalisch bedingt vor allem auch an den Übergängen von heißen und kalten Bereichen kondensieren, ist eine weitere aktive Kühlung zur Kondensatabscheidung im Einlaufbereich des Reflowsystems integriert. Zusätzlich wird das Prozessgas am Übergang von der Peakzone in den Kühlbereich der Anlage nochmals aktiv abgesaugt und gefiltert. Die Sättigung der Filter wird überwacht und eine visuelle Anzeige weist auf einen bevorstehenden Filterwechsel hin. Alle Filtereinschübe lassen sich einfach wechseln und reinigen. Das hocheffiziente Prozessgasreinigungskonzept stellt dadurch eine lange Wartungsintervalle sicher, wodurch sich Produktionsstillstände und damit auch Kosten in der Elektronikfertigung reduzieren lassen.
(mrc)