| von deigner

Delo hat zweikomponentige Klebstoffe für die temporäre Fixierung beim Wafersägen entwickelt, die bei Raumtemperatur aushärten und sich anschließend durch geeignete Medien, wie z. B. Wasser, wieder ablösen lassen. Bei der Herstellung von Siliziumwafern werden Siliziumblöcke mittels Drahtsägen in dünne Scheiben, sogenannte Wafer, geschnitten. Dabei werden sie vorab auf eine Glasplatte aufgeklebt, die wiederum mit einem Maschinenträger aus Stahl verklebt wird. Nach dem Sägen sind die Wafer noch mit dem Glasträger verbunden und müssen abgelöst werden. Der Klebstoff muss daher für den kompletten Fertigungsschritt Verkleben, Sägen und Ablösen geeignet sein. Er zeigt deshalb hohe Festigkeit während des Sägeprozesses, geringen Siliziumausschuss und gutes Ablöseverhalten bei verschiedenen Medien.

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