Das Projekt Lab4MEMS II wurde vom European Nanoelectronics Initiative Advisory Council (ENIAC) Joint Undertaking (JU), einer öffentlich-privaten Partnerschaft im Bereich der Nanoelektronik, ins Leben gerufen. Gestützt auf Lab4MEMS, setzt die Ergänzung auf ST als koordinierenden Partner, der seine Produktions-, Technik- und Organisationskompetenz einbringt, um die europäischen Anstrengungen zur Sicherung der Spitzenstellung auf dem aussichtsreichen MOEMS-Sektor zu dirigieren. MOEMS-Bauelemente (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) kombinieren MEMS-Technik und Mikrooptik, um optische Signale mithilfe mechanischer, optischer und elektrischer Systeme zu erfassen oder zu manipulieren. 26 Millionen Euro beträgt das Budget des Projekts. Beteiligt daran sind 20 Partnern aus Industrie, Wissenschaft und Forschung, die sich auf neun europäische Länder verteilen.
Das ursprüngliche Projekt wahrt parallel dazu seine Ausrichtung auf die Entwicklung einer Pilotfertigung für MEMS-Komponenten der nächsten Generation, die durch fortschrittliche Technologien wie piezoelektrische oder magnetische Materialien und 3D-Packaging aufgewertet werden.
Die MOEMS-Technik ist eine ideale Plattform für hochwertige kommerzielle Produkte der Zukunft, wie etwa für optische Schalter, Mikrospiegel-Bauelemente und dynamische Displays sowie bistabile Bauelemente und optische Verschlüsse. Letztere eignen sich für Mikroprojektoren, Laser-Mikroscanner, eine neue Generation von Mensch-Maschine-Schnittstellen sowie Mikro-Spektrometer. Zu den Zielen des Projekts gehören die Optimierung der Produktion von doppelten einachsigen Spiegeln sowie die Erforschung von Möglichkeiten zur Entwicklung des zweiachsigen Einzelspiegels.
(ah)
