Bildquelle: Delo
Die zweikomponentigen Epoxidharze Duopox RM885, RM864 und RM845 von Delo werden insbesondere bei der Waferherstellung eingesetzt: Die Siliziumingots werden damit auf eine Trägerplatte aufgeklebt, bevor sie in hauchdünne monooder polykristalline Siliziumscheiben (170 bis 200 ? m) gesägt werden. Nach dem Sägeprozess müssen die Wafer vereinzelt und vollständig vom Klebstoff abgelöst werden. Bei den neu entwickelten Klebstoffen führen schnelle Anfangsfestigkeiten und ein gutes Ablöseverhalten zu einem effizienten Fertigungsverfahren. RM885 und RM845 eignen sich neben dem Einsatz in slurrybasierten Drahtsägen auch gut für die neuartigen Diamantdrahtsägen. Während sich RM864 sehr leicht mit temperierter, verdünnter Säure ablösen lässt, können RM885 und RM845 neben Säure auch einfach mit heißem Wasser nach dem Sägeprozess abgelöst werden.
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