Die neuen Röntgenfluoreszenz-Messsysteme wurden speziell für die Anforderungen des Leiterplattenmarktes entwickelt.Helmut Fischer
Im Fokus dieser Entwicklungen standen vor allem das bessere Handling großer, flexibler Leiterplatten (610 x 530 mm2), die hohe Präzision und Genauigkeit der Messergebnisse und eine zuverlässige Messtechnik mit großer Langzeitstabilität. Mit den neuen Messsystemen, der leistungsstarken Auswertesoftware WinFTM und speziell für die Leiterplattenindustrie hergestellten zertifizierten Referenzstandards werden diese Kriterien erfüllt.
Als Einstiegsgerät dient das von unten nach oben messende Fischerscope X-RAY XULM-PCB mit Proportionalzählrohr-Detektor, Mikrofokus-Röntgenröhre, festem Primärfilter und fester Blende. Es ist mit einer fixen Probenauflagefläche von 800 x 600 mm2 ausgestattet und auf 1200 x 630 mm2 erweiterbar. Schnell und einfach lassen sich die zu messenden Leiterplatten von Hand positionieren. Per Videobild kann die genaue Messstelle überwacht werden.
X-RAY XDLM-PCB 200 und 210 verfügen ebenfalls über eine Mikrofokus-Röntgenröhre mit festem Primärfilter und fester Blende. Bei diesen von oben nach unten messenden Proportionalzählrohr-Geräten vereinfacht ein Laserpointer die genaue Positionierung der Leiterplatte. Sie sind mit fester Probenauflage von 600 x 600 mm2, erweiterbar auf 1200 x 900 mm2 ausgerüstet. Alternativ steht ein programmierbarer XY-Tisch mit 450 x 300 mm2 Verfahrweg zur Verfügung, womit die Geräte auch für die automatisierte Serienprüfungen einsetzbar sind.
Auch das High-end-Röntgenfluoreszenzgerät X-RAY XDV-µ mit Polykapillar-Röntgenoptik (~20µm FWHM, Mo-k) und großflächigem Silizium-Drift-Detektor gibt es jetzt mit einer 610 x 530 mm2 großen Auflageplatte für den programmierbaren XY-Tisch. Damit können dank des äußerst kleinen Messflecks speziell Leiterplatten mit kleinsten Strukturen (< 100 μm) präzise gemessen werden. Zudem verfügt dieses Gerät über eine sehr hohe Anregungsintensität und daher über eine äußerst gute Wiederholpräzision auch bei dünnsten Schichten im Nanometerbereich. Die Messunsicherheit liegt dabei unter 1 nm. Durch die hochauflösende Videooptik mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren ist eine sichere Probenpositionierung und gestochen scharfe Darstellung selbst kleinster Messstellen möglich.
(ah)
