Das Glass.Wafer-Inspektionssystem ist in schwarzem Aluminium ausgeführt.

Das Glass.Wafer-Inspektionssystem ist in schwarzem Aluminium ausgeführt.EVT

Um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen, kommt ein 5-MPixel-Sensor zum Einsatz. Das komplette System besteht aus einer schwarzen Aluminiumstruktur. Eine LED-Beleuchtung erhellt den Wafer von der Unterseite. Abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers variiert auch der Durchmesser der Aussparung für die Beleuchtung.

Die Kommunikation zur Prüfeinheit kann entweder via Ethernet oder RS-232 erfolgen und optional auch via USB. Die Bildverarbeitung erfolgt komplett in der Kamera, die mit einer ARM-CPU vom Typ Cortex A8 mit 1 GHz ausgerüstet ist, außerdem mit einem zusätzlichen 800-MHz-DSP. Das GWI-System basiert auf einem Windows PC. Nach der Programmierung wird das System vom PC getrennt und die Kommunikation zum System erfolgt anhand eines Kommunikationsprotokolls. Das dazugehörige GWIP wurde für die Analyse von Glaswafern, um Fehler an deren Oberfläche zu erkennen, entwickelt. Das Programm kann darüber hinaus einfach für diverse Defekte angepasst werden, solange sie im Bild erkannt werden können. Die Software beruht auf EyeVision 2.6 R036 LTS (Long Term Support). Diese Version wird ersetzt mit der neuen Generation, der EyeVision 3.0 Version, welche auch Asiatische Sprachen unterstützt und andere neue Funktionen enthält. Mit der nächsten Software-Generation soll das Einlernen von Prüfprogrammen auch mit Linux-Systemen möglich sein.