Das Prinzip der MEMS-Schalters.

Das Prinzip der MEMS-Schalters. Eurocomp

Das Bild zeigt das Prinzip der MEMS-Schalter von Menlo Microsystems. Der MM3200 beispielsweise ist im 6 × 6 mm QFN untergebracht. Der Schalter arbeitet an 5 V und benötigt nur 1 mA zum Schalten. Der Ein-Widerstand ist mit 10 mΩ gegenüber den 200 mΩ der Halbleiterrelais SSR sehr gering. Weitere wesentliche Daten sind die Isolationsspannung von 2500 V, die Schaltfrequenz bis 10 kHz und bis 85 °C liegt kein Derating vor.

Für höchste Frequenzen gibt es noch die MEMS-Typen MM3100 (6 Kanal, DC bis 3 GHz, <0,75 Ω), MM7100 (SPST, 2 A, DC bis 750 MHz, 400 V, 2A im LCC) und MM5120 (SPDT, DC bis 12 GHz, 25 W im QFN).

Mit den MEMS-Relais zielt Menlo Microsystems den Markt für Relais generell an, der noch zu über 50 % von den elektromagnetischen Typen beherrscht wird. Die MEMS-Schalter bieten sich wegen ihrer Daten als Ersatz für alle Arten von Schaltern an, einschließlich PIN-Dioden, Halbleiterrelais, Schütze und weitere.