Konfokaler Sensor von Micro-Epsilon erfasst transparente Schichten

Micro-Epsilon: Mit einem Messbereich von 100 µm und einer Auflösung von 3 nm erfasst der Sensor transparente Schichten wie Glas oder Kunststofffolien bereits ab 5 µm. Der große Verkippungswinkel ergibt sich durch die numerische Apertur, dem Grad der Bündelung der Lichtstrahlen in diesem optischen System, die einen Wert von NA 0,8 bzw. NA 0,7 erreicht. In Zusammenspiel mit dem Lichtpunktdurchmesser von 3 µm lassen sich sehr feine Strukturen erfassen und Rauheitsmessungen durchführen. Dazu gehören etwa fein gehonte Oberflächen wie Bremsscheiben, deren Strukturen für das menschliche Auge eher wie glatt polierte Flächen wirken. Es sind zwei Versionen erhältlich. Die Standardvariante mit NA 0,8 für hochpräzise Messungen bei Rauheit und dünnen Schichten sowie die lichtstarke Option mit NA 0,7 für schnelle Messungen mit kurzer Belichtungszeit und für dunkle Oberflächen.

All About Automation Essen 2019: Stand 220

(mou)