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Tiger Optics

In der Halbleiterfertigung hat die Kontaminierung von Prozessgasen eine destabilisierende Wirkung auf die Deposition-Prozesse und verschlechtert deren Produktivität. Bei geringsten Unreinheiten der Prozessgase – in der Größenordnung einiger ppm – sinkt die Fertigungsausbeute signifikant. Als Lösung dieses Problems ermöglicht der Lasertrace 3 das exakte Monitoring von Spurengasen bei beachtenswerten Messpegeln. Die Produktlinie für unterschiedliche Gase und Detektionswerte arbeitet mit bis zu vier Sensormodulen im Standard 19″-Rack. Sie ermöglicht außerdem die Platzierung von individuellen Sensormodellen in Entfernungen bis zu 60 m von der computerisierten Steuereinheit.