Miniaturisierter 3D MID-Strömungssensor

Das Evaluation-Kit bietet die Möglichkeit, den Strömungssensor vier Wochen lang kostenlos zu testen. Das Kit beinhaltet neben dem Sensor eine Auswerteelektronik und ein Anzeigeprogramm.2E mechatronic

Die Integration der fluidischen, elektrischen und mechanischen Funktionen wird durch ein extrem miniaturisiertes MID-Gehäuse realisiert.

Das 3D-Layout wurde hierbei so gestaltet, dass der Sensorchip mit integriertem Kanal durch einen Bondprozess elektrisch kontaktiert werden kann. Ein- und Auslassöffnungen liegen am Rand der Chiptasche in welche der Chip eingeklebt wird. Größe und Lage der äußeren elektrischen Anschlussflächen wurden auf 2,5 mm Standardraster gebracht. Diese sind symmetrisch beidseitig am Gehäuse angeordnet und ermöglichen eine zuverlässige Lötung mit Standardprozessen. Somit wurde das komplette, innovative MID-Gehäuse in seiner dreidimensionalen Formgebung als SMD-Bauelement ausgeführt. Der MID-Strömungssensor kann sowohl als Differenzdrucksensor im Bypass als auch im Direktbetrieb eingesetzt werden. Er bietet eine hohe Genauigkeit bei gleichzeitig niedriger Leistungsaufnahme (< 10 mW). Der Sensor lässt sich gleichermaßen für gasförmige wie auch für flüssige Medien auslegen. Der maximale Volumenstrom im Direktbetrieb beträgt dabei beispielsweise 20 ml/min für Luft. Mit dem SMD/MID-Konzept wurde ein hoch integrierter und äußerst präziser Sensor bei gleichzeitig einfachem Standardhandling für elektronische Bauteile realisiert. Zugleich konnte die Flexibilität der Anwendung deutlich erhöht werden.

Ein Evaluation-Kit bietet dem Anwender die Möglichkeit, den Strömungssensor vier Wochen lang kostenlos zu testen. Das Kit beinhaltet neben dem Sensor eine Auswerteelektronik und ein Anzeigeprogramm.

(jj)