Schichtdicken messen mit hochauflösendem Detektor

Hitachi High-Tech Analytical Science Corporation entwickelt und vertreibt Analyse- und Messgeräte. Nun hat das Unternehmen das Leistungsspektrum des RFA-Schichtdickenmessgeräts X-Strata920 um einen neuen hochauflösenden Detektor und eine neue Konfiguration für den Probentisch erweitert. Die RFA Schichtdickenmessgeräte werden seit mehr als 40 Jahren erfolgreich in der Elektronik- und Metallveredelung eingesetzt. Das X-Strata920 stellt sicher, dass Beschichtungen den vorgeschriebenen Spezifikationen entsprechen und minimiert den Ausschuss von Über- oder zu dünnen Beschichtungen. Das erweiterte Leistungsspektrum eröffnet nun zahlreiche neue Möglichkeiten. So kann das Schichtdickenmessgerät für optimale Leistungsfähigkeit benutzerspezifisch angepasst werden, wahlweise mit einem hochauflösenden Silizium-Drift-Detektor (SDD) oder einem Proportional-Zählrohr. Darüber hinaus verfügt das Gerät nun über vier Konfigurationen der Messkammer und Probentische, für eine Vielzahl unterschiedlicher Probenformen und -größen, wie beispielsweise Proben mit komplexen Geometrien in der Automobilindustrie.

Im Vergleich zu einem Proportional-Zählrohr kann ein SSD-Detektor bei komplexen Beschichtungsstrukturen den Vorteil bieten, dass er bei Elementen mit ähnlichen RFA-Eigenschaften, wie bei Nickel und Kupfer, eine einfachere Analyse ermöglicht. Damit erweitert sich die Palette analysierbarer Elemente auch um Phosphor, entscheidend für eine Analyse der Schichtdicke im stromlosen Vernickelungsprozess und sorgt für eine genauere Messung dünnerer Beschichtungen wie Gold im Nanometerbereich von IPC-4552A.

(hw)