Sensirion: Dank innovativer Aufbau- und Verbindungstechnik sind hochsensitive, thermische Sensor-Chips in der Lage, mediengetrennt durch die Wand des im Substrat verlaufenden Kanals hindurch zu messen. Dieses Prinzip erlaubt hochempfindliche Flussmessungen sowie Luftblasenerkennung im Mikroliterbereich. Dadurch eröffnen sich neue Möglichkeiten zur verbesserten Flussratenüberwachung. Die mediengetrennte Massenstrommessung funktioniert aufgrund der hohen Sensitivität, die mit der eingesetzten cmosens-Technologie erreicht wird. Ein kleiner, digitaler Mikrochip wird auf das mikrofluidische Substrat aufgebracht. Neben dem Sensorelement enthält der Chip die komplette digitale Intelligenz sowie einen Speicher für die Linearisierung und Temperaturkompensation. (boe)

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