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Halbleiterfertigung: Prozessoptimierung mit Messtechnik

Datum: 23. Juni 2021 | Uhrzeit: 10 Uhr

Webinar Halbleiterfertigung: Prozessoptimierung mit Messtechnik

KI, 5G, IoT, ADAS, AR/VR und andere neue Anwendungen bieten der Halbleiterindustrie viele Wachstumschancen und stellen sie vor neue Herausforderungen in der Fertigung.

Als Halbleiter Equipment Hersteller muss Ihr Produkt besser, genauer und schneller sein sowie eine höhere OEE haben als das der Mitbewerber. Das Messen, Steuern und Regeln des kritischen Parameters Kraft unterstützt sie dabei, dies zu erreichen.

Als produzierendes Unternehmen ist die Reduktion der Fehlerquote eine grundsätzliche Herausforderung. Bei der Fertigung auftretender mechanischer Stress kann zu Produktbeschädigungen führen. Indem wir ihn sichtbar machen, können Sie bei Abweichungen frühzeitig reagieren.

Die Halbleiterindustrie nutzt die Leistungsvorteile der kleinen Technologieknoten und des Advanced Packaging, um mehr Funktionalität auf einem kleinen Formfaktor unterzubringen, was die Produktionsprozesse noch anspruchsvoller macht.

Diese technologischen Fortschritte in der Halbleiterindustrie und die erhöhte Komplexität der Produktionsprozesse erhöhen den Druck auf die Fertigung. Die Optimierung der Prozesse ist eine Voraussetzung für hohe Zuverlässigkeit, die durch die Auswahl geeigneter Materialien und die Kontrolle kritischer Prozessparameter erreicht wird. Gegenwärtig werden Chip-Test, Überwachung und Kontrolle von Packaging-Prozessen weitgehend über optische-, Wegsensoren und elektrische Tests durchgeführt. Um die Qualität und Ausbeute eines Packaging-Prozesses zu erhalten oder zu verbessern, werden optimierte Methoden zur Prozessüberwachung und Fehlererkennung benötigt.

Der Fertigungsparameter, die physikalische Größe Kraft, welche durch Abweichungen und/oder mechanischen Stress einen Bauteilausfall verursachen kann, wird mit konventionellen Messmethoden nicht sichtbar. Diese ist aber für die Steuerung und Überwachung von Produktionsprozessen wie Schleifen, CMP, Polieren, Laminieren, Flip Chip, Die Attach, Bonden, Pick-and-Place und vielen weiteren Fertigungsschritten gleichermaßen wichtig.

Mit der piezodynamischen Kraftmesstechnik kann auch bei kleinen Kräften mit hoher Auflösung überwacht sowie geregelt werden. Dadurch können Abweichungen frühzeitig erkannt und Fehler vermieden werden, und die Hersteller von Halbleiter-Equipment können eine höhere und genauere Maschinenleistung erzielen. Halbleiterfertigungsunternehmen profitieren von optimierter Prozesstransparenz, Leistung, niedrigeren Qualitätskosten und Rückverfolgbarkeit der Prozessdaten.

In diesem Webinar lernen Sie:

  • Wie mechanischer Stress mit Kraft-Messtechnik gemessen werden kann
  • Warum piezoelektrische Messtechnik ideal für die Halbleiterfertigung ist
  • Welche Fertigungsschritte von Kraft-Messtechnik profitieren
  • Wie Sie als Halbleiter Equipment Hersteller und/oder Produktionsunternehmen mit Kraft-Messtechnik einen Wettbewerbsvorteil realisieren

Als weltweit führender Anbieter von dynamischer Messtechnik zur Messung von Druck, Kraft, Drehmoment und Beschleunigung unterstützen wir unsere Kunden in Industrie und Forschung dabei, ihre Produkte zu verbessern und ihre Fertigungsprozesse effizienter zu gestalten. Der piezoelektrische Sensor ist das Herzstück eines jeden Messsystems von Kistler und ist basierend auf der entsprechenden Technologie, das wichtigste Element unserer Messtechnik.

Die dynamische, piezoelektrische Kraftmesstechnik bietet viele Vorteile, welche die Anforderungen der Halbleiterfertigung optimal erfüllen wie zum Beispiel dynamisches Messen, hohe Auflösung und Wiederholbarkeit auch bei kleinen Kräften, Steifigkeit, kein Verschleiß, lange Lebensdauer und kompakte Sensorgröße. Weltweit vertrauen Unternehmen der Halbleiterindustrie bereits auf Kistler, wenn es um Messtechnik geht.

Referent:

Referent Robert Hillinger, Business Development Manager, Kistler Instrumente AG

Robert Hillinger

Business Development Manager, Kistler Instrumente AG

Robert Hillinger hat einen Abschluss in Elektrotechnik der HTL Mödling in Österreich. Seit seinem Studium arbeitete er als Elektroingenieur, Produktmanager und Business Manager in der Automatisierungsbranche. Im Jahr 2018 wechselte er zur Kistler Instrumente AG in Winterthur, einem führenden Unternehmen der Messtechnik mit eigener Forschung, Entwicklung, Produktion und weltweiter Präsenz. Als Business Development Manager unterstützt er Industriekunden mit Kistler Messtechnik, bessere Prozesstransparenz zu erreichen, um dadurch Qualitätskosten reduzieren.

Moderation:

Dr.-Ing. Nicole Ahner

Dr.-Ing. Nicole Ahner

Dr.-Ing. Nicole Ahner absolvierte ihr Studium der Elektrotechnik/Informationstechnik mit Spezialisierung auf Mikroelektronik erfolgreich an der Technischen Universität Chemnitz. Seit 2016 ist sie Mitglied des Redaktionsteams von emobility tec, elektronik industrie, elektronik journal und all-electronics.de.

Unternehmen:

Göpel electronic

Über die Kistler Gruppe

Kistler ist Weltmarktführer für dynamische Messtechnik zur Erfassung von Druck, Kraft, Drehmoment und Beschleunigung. Spitzentechnologien bilden die Basis der modularen Lösungen von Kistler. Als erfahrener Entwicklungspartner ermöglicht Kistler seinen Kunden in Industrie und Wissenschaft, Produkte und Prozesse zu optimieren und nachhaltige Wettbewerbsvorteile zu schaffen. Das inhabergeführte Schweizer Unternehmen prägt durch seine einzigartige Sensortechnologie zukünftige Innovationen in der Automobilentwicklung und Industrieautomation sowie zahlreichen aufstrebenden Branchen. Mit einem breiten Anwendungswissen und der absoluten Verpflichtung zu Qualität leistet Kistler einen wichtigen Beitrag zur Weiterentwicklung aktueller Megatrends. Dazu gehören Themen wie elektrifizierte Antriebstechnologie, autonomes Fahren, Emissionsreduktion und Industrie 4.0. Rund 2.050 Mitarbeitende an über 60 Standorten weltweit widmen sich der Entwicklung neuer Lösungen und bieten anwendungsspezifische Services vor Ort. Seit der Gründung 1959 wächst die Kistler Gruppe gemeinsam mit ihren Kunden und erzielte 2020 einen Umsatz von CHF 361 Millionen. Rund 9 % davon fließen zurück in Forschung und Technologie – und damit in bessere Ergebnisse für alle Kunden.

Das Webinar wurde aufwendig von unserer Fachredaktion und von unserem Partner zur Verfügung gestellt. Im Gegenzug möchten wir Sie bitten, sich kurz zu registrieren. Bitte verwenden Sie hierfür Ihre geschäftliche E-Mail-Adresse. Vielen Dank!

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