Mit dem GeminiSEM wird eine Auflösung im Sub-Nanometerbereich und hohe Detektionseffizienz erreicht, auch im druckvariablen Modus.Zeiss
Nach 50 Jahren Wachstum und Entwicklung ist das REM immer vielseitiger geworden. Mit neuen industriellen Anwendungen, die jedes Jahr hinzukommen, ist das REM ein wichtiger Teil der Forschung und Entwicklung sowie der Qualitätskontrolle und -analyse in zahlreichen Branchen weltweit. Ursprünglich im Bereich der Materialwirtschaft angesiedelt, hat das REM inzwischen einen festen Platz in Disziplinen wie Elektronik und Forensik. Auch der Einsatz von REMs in der Prozesskontrolle und Fehleranalyse ist weit verbreitet. Rasterelektronenmikroskopische Routineverfahren sind üblich in der Halbleiter-, Automobil- und Fertigungsindustrie. Direkter Nachfolger der ersten Mikroskope aus dem Jahr 1965 ist die Evo-Familie, eine seit 2004 am Markt verfügbare Analyseplattform der Industrie. Mit der Geminisem-Familie soll eine bessere Auflösung, insbesondere bei niedriger Spannung, erreicht werden. Das 20-mal größere Inlens-Detektionssignal sorgt für gestochen scharfe Bilder – schnell und mit minimaler Probenschädigung.
(mrc)
