Verglichen zu den bekannten Technologien bei Beschleunigungssensoren ( MEM mit Si-Massekörper, Gasblase oder Piezoeffekt) verwendet Silicon Sensing einen Si-Ring, der in einem Magnetfeld eines runden Magneten angebracht ist . Der an acht Fingern aufgehängte Ring wird in Resonanz gebracht ( 14 kHz) und über vier dieser Finger wird eine durch die Coriolis-Kraft bewirkte Veränderung der Resonanzmoden detektiert. Am Ausgang des Sensors steht dann eine Spannung zur Verfügung, die der Kraft sprich Winkelbeschleunigung entspricht. Die Empfindlichkeit dieses MEMS ist <+-0,1°/s/g an jeder Achse. Die Firma liefert den SensorCRS03 in drei Ausführungen ( Skalenfaktoren 20mV/°/s bzw. 10 mV/°/s) und als CRS05 (Bild rechts, Skalenfaktoren 40mV/°/s bzw. 10 mV/°/s oder 27mV/°/s) samt Elektronik für Digitalausgang.


Silicon Sensing 462