Dieser Inertialsensor basiert auf mikromechanischen Herstellungsverfahren (HARMS, AIM) und liefert ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie hohe Temperaturstabilität.

Dieser Inertialsensor basiert auf mikromechanischen Herstellungsverfahren (HARMS, AIM) und liefert ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie hohe Temperaturstabilität.First Sensor

Die neuen MEMS-Sensoren von First Sensor erreichen ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis, gute Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen. Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air Gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten.

Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Alle MEMS-Inertialsensoren lassen sich dank der modularen Technologie gut an kundenspezifische Anforderungen anpassen. Das kapazitive Sensorelement und die ASIC-Signalverarbeitung sind in ein hermetisch abgeschlossenes SMD-Gehäuse integriert. Zusätzlich stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung.

First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.