Immer mehr High-Tech-Anwendungen verlangen nach Vakuum-Varianten, um einerseits das Risiko von unerwünschten chemischen Reaktionen zu minimieren sowie andererseits Verunreinigungen während des Herstellungsprozesses oder der technischen Ausstattung möglichst zu vermeiden.

Bewegung ist eine der größten Herausforderungen im Vakuum. Dabei sind Wartungsfreundlichkeit, Zuverlässigkeit, Vielseitigkeit und Ausgasung kritische Faktoren in einer Vakuumanwendung; ist einer dieser Faktoren nicht gegeben, kann dies lange Ausfallzeiten oder fehlerhafte Produkte zur Folge haben. Daher sollten Betreiber über die erste Investition der Anschaffung hinaus auch die Gesamtbetriebskosten betrachten.

Die Instandhaltungskosten von Bewegungssystemen im Vakuum sind bekanntlich hoch. Der Vorteil von Linearmotoren mit Vakuumnennwerten liegt allerdings darin, dass sie keine sich bewegende Teile haben und ohne Reibung arbeiten; dadurch bedürfen diese Motoren keiner Wartung. Zudem lassen sich die Vakuumlinearmotoren komplett in der Vakuumkammer installieren und benötigen so keine Vakuumdurchführungen.

Eine hohe Ausgasung des Bewegungssystems können den Produktionsprozess beeinträchtigen. Die eisenlosen Vakuumlinearmotoren weisen die niedrigsten Ausgasungswerte auf, die ein Standardprodukt erreichen kann. Durch eine spezielle Konstruktion der Spuleneinheit und des Magnetjochs eignen sich die Vakuummotoren für den Einsatz im Hochvakuum bis zu 10^-8 mBar.

Es gibt drei Typen von Vakuumlinearmotoren:

• Eisenlose Linearmotoren mit Vakuumnennwerten für hohe und niedrige Vakuum-Anforderungen,
• Linearmotor-Transportsystem mit eisenbehafteten oder eisenlosen Motoren und
• Kundenspezifische nach individuellen Anforderungen konstruierte Linearaktuatoren, auf Wunsch mit speziellen technischen Eigenschaften.

Tecnotion konzipiert, fertigt, prüft und verpackt seine Motoren mit Vakuumnennwert im hauseigenen Reinraum in den Niederlanden.

(rao)