Schaltkreisfehler mittels Scandiagnose und RCD aufspüren So lässt sich die Ausbeute in der Halbleiterherstellung erhöhen Ein neuartiger Ansatz für das Auffinden von Schaltkreisausfällen verbessert die Ausbeute bei aktuellen Technologieknoten in der Halbleiterherstellung. Damit lassen sich gerade in der Serienfertigung Einschränkungen beim Yield vermeiden. Manish Sharma, Jayant D’Souza, Hans Eisenmann und Thomas Zanon 25. July 2023